日本電子（株）

陽極酸化膜とは金属表面に施す表面処理法の一つで、基板金属と密着性が高く、耐食性・装飾性・絶縁性にも優れた表面被膜で、世界で初めて日本でアルマイトとして実用化されから今では様々な金属表面に応用されています。また、陽極酸化膜は直径わずか数10～数100nmの微細孔を短時間で大面積の金属表面に形成できるといった工業的に大きなメリットを持っています。そのため、金属表面のナノストラクチャーの加工法として、微細孔の直径や長さ、孔間隔などを制御する研究が、世界中の多くの大学・研究機関や企業で広く行われています。弊社では、これら陽極酸化膜の研究・開発を行うにあたり必要不可欠な分析・解析機器を数多く揃えており、多くのお客様に最新の技術と共に提供しております。本発表では、硫酸とシュウ酸溶液中でAl基板上に形成した陽極酸化膜に対し、物理的・化学的な構造を解明するため様々な角度から分析した結果について報告します。