セミナー/出展者プレゼン

【主催者企画】 SURTECHセミナー DAY1(4セッション)

日時 2022年1月26日(水)10:30~12:30(予定)
会場 ASTEC/SURTECHセミナー会場(東3ホール会場内)
主催 SURTECH実行委員会

26日(水)10:30~11:00

還元型Co触媒を利用したボイドフリー最終表面処理プロセス

奥野製薬工業株式会社 総合技術研究所 室長 橋爪 佳

プリント基板上Cu配線には、Auワイヤーボンディングやはんだの接合信頼性向上を目的に無電解めっき処理による最終表面処理が多く採用されている。一般的にCu素材上に無電解めっきを施すには置換反応を伴うPd触媒付与液が用いられるため、Cu素材の過剰溶解による腐食発生や不均一なPd触媒核の形成によるめっき皮膜の被覆性低下が懸念されている。そこで我々は還元反応によりCu素材上にCo触媒を形成する処理薬液「ICPアクセラCOA」を開発し、Cu素材の腐食抑制および均一なCo触媒膜形成によるめっき皮膜の被覆性向上を実現した。本講演では、ICPアクセラCOAの特長と従来Pd触媒付与液の代替としてICPアクセラCOAを使用した際の無電解めっき皮膜の特性について紹介する。

【講演者プロフィール】
2000年に神戸大学 工学部 応用化学科 卒業、奥野製薬工業株式会社 入社、表面処理関連の研究部に配属。入社以来、無電解ニッケルめっき液の開発に従事。近年はプリント基板やパワー半導体関連部品への前処理、無電解ニッケルめっき、無電解貴金属めっきの開発にも従事している。専門分野は無電解ニッケルめっき。

26日(水)11:00~11:30

半導体メッキ形成用厚膜レジストについて

東京応化工業 株式会社 開発本部 先端材料開発3部 担当課長 入江 真樹子

半導体はいまや我々の生活において欠かすことのできないものである。近年この半導体の高密度化、高集積化にむけて2Dから3Dパッケージが注目されている。中でもPoP(Package on pakage)はパッケージの上にパッケージを積層する技術であり小さい実装面積で高機能化することができる技術である。このPOPに使用されるメッキ形成用途のレジストについて紹介する

26日(水)11:30~12:00

Beyond 5G 時代に向けた電子デバイスと表面処理技術

関東学院大学 材料・表面工学研究所 教授 盧 柱亨

「高速」「大容量」「低遅延」「多数端末との接続」の特徴をもつ5G高速モバイルネットワークの普及によりBig dataを上手く利用することにより、IoTの次に、全てのモノがインターネットによって繋がっているIoE (Internet of Everything)の実現に拍車がかかり、AI、自動運転、遠隔医療など作業革新への期待が高まっている。
我々の身につけることができるウェアラブルデバイスが重要なデバイスの一つである。曲がる素材である樹脂フィルム材の長所を生かし、その上に高速で信号伝送が可能性な電子回路基板に応用可能な表面処理技術を紹介する。

【講演者プロフィール】
韓国ソウル生まれ。2000年 大阪大学大学院工学研究科電子情報エネルギー工学専攻 博士後期課程を修了。博士(工学)
横浜国立大学 電子情報工学科の助手、横河電機株式会社、東京大学 ナノ量子情報エレクトロニクス研究機構(兼QDLaser Inc.)を経て、現在、関東学院大学 総合研究推進機構 材料・表面工学研究所の教授。(兼 同大学 大学院工学研究院 教授)
専門分野:電子材料工学、薄膜成長・表面界面物性、3D-CAD/CAE解析

26日(水)12:00~12:30

高速銅めっきの添加剤とめっき膜物性

関東学院大学 材料・表面工学研究所 講師 梅田 泰

近年、電解硫酸銅めっきは半導体チップの配線、超小型アンテナ、無接触充電コイル、プリント基板配線めっきのようなハイテク分野での重要な役割を果たしている。しかしながら、製品が精細になり、求められるめっき厚が高くなってきているにもかかわらず、析出膜の安定性が確保されていないことから高電流密度での加工がおこなわれていない。そこで添加剤の添加量と膜物性について折り曲げ性、XRDを用いて高速でめっきした結晶配向および結晶粒に関して調査した結果を紹介する。

【講演者プロフィール】
車載、航空機、飛翔体、半導体部材関連のめっきプロセス開発を28年間行い、その後米国系の半導体装置メーカーに勤務し、関東学院大学の客員研究員、助教、講師となり現在に至る。現在は環境に配慮したファインバブル低濃度オゾン水、電解硫酸およびUVをつかった樹脂上へのめっき前処理法の研究、低環境負荷の高速電解ニッケル、高速電解銅めっきの研究を行っている。

【主催者企画】 SURTECHセミナー DAY2(3セッション)

日時 2022年1月27日(木)10:30~12:30(予定)
会場 ASTEC/SURTECHセミナー会場(東3ホール会場内)
主催 SURTECH実行委員会

27日(木)10:30~11:10

CVDによる導電性ダイヤモンドの合成と電極としての応用

DiaM株式会社 技術部 技術部長 尾形 聡

ダイヤモンドは元来絶縁体であるが、ホウ素をドープすることで導電性を付与することができるため、シリコン基板などにコーティングすることで電極として使用することができる。導電性ダイヤモンドは化学的安定性が高いことに加え電位窓が広いという特徴を持つため、強酸性溶液下での電気分解や、従来電極では難しかった物質の分解や合成が可能となる。今回は導電性ダイヤモンドの合成方法と導電性ダイヤモンド電極としての使用例を紹介する。

【講演者プロフィール】
1998 - 2017.10 月島機械(株)
2017.11 - 2021.4 (株)MPS
2021.4 DiaM(株)

27日(木)11:10~11:50

電解硫酸と工業的応用

ミクロエース 研究開発本部 本部長 永井 達夫

硫酸を電気分解すると、ペルオキソ二硫酸という酸化還元電位が2.01Vの強酸化剤を得ることができる。この強酸化剤を利用して、化学反応の中で重要な酸化還元反応を、通常の酸化剤よりも促進することが可能である。その応用例として、半導体製造プロセスにおけるフォトレジスト剝離、シリサイド残渣除去があり、その概要を報告する。また、新たな応用に向け取り組んでいるアルミニウム陽極酸化についても紹介する。

【講演者プロフィール】
1984-2002:(株)日本製鋼所、2002-2018:栗田工業(株)、2018-present:ミクロエース(株)、2016:博士(工学)

27日(木)11:50~12:30

クロム酸を用いないプラスチックめっき各種前処理法と
加熱硫酸及び電解硫酸を前処理に用いたPP樹脂への
高密着めっき法

関東学院大学 材料・表面工学研究所 講師 梅田 泰

ポリプロピレン樹脂へのめっきの前処理方法として、クロム酸を含む機械的表面粗面化およびエッチャントが、良好な接着を得るために従来から使用されてきた。 本研究では、クロム酸を含む薬品を使用せず、密着性の高い前処理法の問題点を解決するための研究を行った。 本講演では、硫酸に浸漬した後、電解硫酸処理を用いた従来の方法に代わる新しい前処理について報告する。 本研究により、表面の微細なアンカーとの密着性を確保するための親水性基とカルボニル基の形成が可能となり、高い密着性が得られた。 したがって、この環境にやさしい表面改質法は、産業用途で使用されることを期待する。

【講演者プロフィール】
2019年千葉工業大学にて博士(工学)の学位を取得。1979年から2010年まで大成工業、横浜プレシジョン、野毛電気工業、セミツールジャパンにて車載、宇宙衛星、半導体前後工程の表面処理技術開発に従事し、2010年から関東学院大学 材料・表面工学研究センター研究員、材料・表面工学研究所の助教を経て、2019年から同研究所講師となり、現在に至る。

【DAY1】 出展者プレゼンテーション

当日聴講可能です。直接、セミナー会場までお越しください。

日時 2022年1月26日(水)
会場 ASTEC/SURTECHセミナー会場(東3ホール会場内)

26日(水)13:30-14:00

自社製レーザ洗浄装置「イレーザー®」の製品説明
-最新の自動化事例や金型へのダメージレス洗浄事例紹介-

東成エレクトロビーム株式会社 橋本 聖史

レーザによる洗浄原理から、洗浄用途・事例について。
従来の洗浄方法と比較し効果や特徴をご説明します。

【DAY2】 出展者プレゼンテーション

当日聴講可能です。直接、セミナー会場までお越しください。

日時 2022年1月27日(木)
会場 ASTEC/SURTECHセミナー会場(東3ホール会場内)

27日(木)13:30-14:00

めっきの代替技術
―完全クロムフリー表面処理『ERIN』―

豊実精工株式会社 代表取締役 今泉 由紀雄

Coming Soon

27日(木)14:15-14:45

価格据置き?!激安釣り糸に、なぜプラズマ処理をしても儲けが出るのか?

株式会社サンライン 主任 松尾 茉美

2010年、釣り糸の国内トップシェアであるサンラインは新たなステージを模索していた。
現代の釣り糸は、対象魚や釣り方によって、ユーザーが要求する特性が多様化している。ニーズに応える為、様々なコーティングや薬品処理等の表面加工を施してきたが、市場はコモディティ化が進み、差別化が困難であった。そこで、表面を自在に改質できるプラズマを利用して、独自のプロセスと商品開発に着手した。
大気圧低温プラズマは真空容器不要のため、既存工程に組み込み易く、減圧プラズマでは困難だった大型・長尺の物体や熱に弱い物質を、連続的にプラズマ処理できる。このような利点を生かして、半導体関連や液晶パネルなどの製造工程に利用されているが、釣り糸のような一般消費財への利用は、コストが折り合わなかった。
なぜ、激安の釣り糸にプラズマ処理をしても儲けが出るのか。弊社が大気圧低温プラズマの工業化・商品化に成功した理由を紹介する。

【講演者プロフィール】
2016年4月入社。開発部で表面観察や化学計測などの分析業務を担当。商品開発においては人の感性の定量化する「感性工学」を担当し、色感質感研究会で研究発表を行った。2020年よりプラズマライズ事業部に所属。プラズマ処理に関する開発・分析を担当しながら、デジタルマーケティングなど営業ツールの開発にも携わっている。趣味は美容で、プラズマを利用した美容プロセスを画策している。
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