SURTECH 2016 表面技術要素展 2016年1月27日（水） - 1月29日（金） 東京ビッグサイト（東京国際展示場） 東4ホール

1月27日（水）11:20-11:40

大気圧プラズマによる表面改質技術
～ディスプレイ製造現場で培った量産技術～

SHUTECH

大気圧プラズマ技術はスマートフォン等のディスプレイ、タッチパネルを製造する上で基材表面に付着した有機汚染物、塵埃を除去するために広く普及した量産技術である。最近では基材表面状態を活性化させて接着しやすい表面にするなどの接合用途、さらには局所的に濡れ性を付与するなどの工程にも応用される装置となっている。本講演では、これまでディスプレイ量産現場で開発、培われてきた弊社の大気圧プラズマ製品ラインナップを紹介するとともに、大気圧プラズマ源の特徴、電子デバイス製造分野への応用事例なども併せて紹介する。また、現在開発中のドライ洗浄技術についても触れ、表面に吸着した粒径サイズの大きなパーティクル、指紋等の汚れを洗浄水で流したり、有機溶剤に浸漬することなく、ドライ状態のまま除去する技術についても紹介、自動車製造分野（塗装前処理、溶接前処理、電解・無電解めっき等前処理等）における応用技術として提案する。

1月29日（金）10:55-11:15

DLCの特性と応用展開

日本コーティングセンター

工具や金型だけでなく、自動車部品をはじめとする量産部品で広く使用されるようになってきたDLC。製法によって特徴が変化しハードコーティングの中では最も多様性に富んだ被膜である。日本コーティングセンターにおけるDLC（スリックシリーズ）の特徴を紹介し、適用事例についても紹介する。

1月29日（金）14:10-14:30

神戸製鋼所におけるPVD事業と新DLCコーティング技術

神戸製鋼所

本発表では、DLC皮膜の一般的な成膜方法におけるプロセスの特徴をはじめ、新規メニューであるAC放電プラズマCVD法によるDLC皮膜およびカーボンアーク蒸発源によるta-C皮膜に関して報告する。各プロセスの特徴としては、前者はドライ、油中での摺動特性において従来のUBMS™法によるDLC皮膜よりも摩擦係数が低く、かつ耐摩耗性に優れることが確認され、後者は、フィルターなしの蒸発源であっても市販の研磨済みta-C皮膜相当の表面粗度を有し、またフィルター構造を除いているため結果として従来プロセスよりも生産性が向上することが確認された。当社の従来技術にこれら2種類の新規装置メニューを加えることで、幅広いDLC成膜に対応できる装置ラインナップを保有したこととなり、今後、工具、金型、自動車部品など様々なアプリケーション向けDLC成膜への貢献が期待される。